簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "李志堅".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="濺鍍"


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    以反應式離子束濺鍍法沉積摻鋁氧化銅/氧化亞銅薄膜之特性探討
    • 電子工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 胡敏安 指導教授: 趙良君
    •   本研究以反應式離子束濺鍍法於SiO2及玻璃基板上以三種氬氧氣體比例在基板溫度300C下沉積氧化銅及摻鋁氧化銅薄膜,探討氣體流量及摻鋁濃度(0~10 at.%)對所沉積薄膜之影響。研究結果顯示當…
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    • 全文公開日期 2021/06/15 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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